| 技術(shù)參數(shù) | |
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| 產(chǎn)品結(jié)構(gòu) |
● 石英真空腔體：280mm OD×260mm ID×310mm H，易清洗和放入樣品 ● 安裝有一個(gè)2英寸的樣品臺(tái)，并且樣品臺(tái)可以旋轉(zhuǎn)，使所制薄膜達(dá)到更好的均勻性 ● 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，max溫度可達(dá)到1700℃，并且配用氧化鋁舟，可裝入樣品（僅 1600℃以下使用，若蒸發(fā)溫度大于1600℃，樣品應(yīng)直接放在鎢絲籃中） ● 精確控溫：可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃ ● 真空度：10-5Torr(如采用分子泵系統(tǒng)) ● 進(jìn)氣系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)腔體的清洗和反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜 ●
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| 工作電源 |
● 電壓：AC220V，50/60Hz，單相 ● 功率：1200W，大電流為30A
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| 溫控及加熱源 |
● 4蒸發(fā)坩堝，每個(gè)容積為3mL。四坩堝可依次進(jìn)行蒸發(fā)，實(shí)現(xiàn)多層膜沉積工藝（不能同時(shí)蒸發(fā)） ● 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，并且配有的氧化鋁坩堝，熱電偶安裝在坩堝底部，以便于溫度測(cè)量 和控制（如圖1） ● 標(biāo)準(zhǔn)采用S型熱偶：工作溫度為200℃-1500℃（圖2） ● 可選B型熱電偶：工作溫度為1200℃-1700℃ ● 安裝有一個(gè)數(shù)顯的溫度控制器：可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1ºC（如圖3） ● 也可將儀器轉(zhuǎn)換到手動(dòng)調(diào)節(jié)接狀態(tài)，內(nèi)部不安裝熱電偶，直接采用手動(dòng)調(diào)節(jié)輸出電流大小，發(fā)熱源 溫度可高達(dá)2000℃，可實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品鍍碳等實(shí)驗(yàn)（圖4） ● 儀器中配備4個(gè)蒸發(fā)坩堝，每個(gè)坩堝均配有2個(gè)鎢絲藍(lán)加熱元件 ● 圖1 圖2 圖3 圖4 圖5
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| 樣品臺(tái) |
● 儀器頂部安裝有樣品臺(tái)，直徑為Φ50mm ● 樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速為：5rpm ● 樣品臺(tái)和蒸發(fā)源之間的距離可以調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍為：40mm-85mm ●
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| 樣品厚度監(jiān)測(cè)（可選） |
● 腔室內(nèi)可安裝精密的薄膜測(cè)厚儀，可點(diǎn)擊圖1&圖2查看詳情。測(cè)厚精度可達(dá)0.10 Å。測(cè)厚儀LED 顯示可實(shí)現(xiàn)： ● 根據(jù)數(shù)據(jù)庫(kù)，輸入涂層信息 ● 顯示鍍膜總厚度以及鍍膜速度 ● 可選購(gòu)反射光譜薄膜測(cè)厚儀--TFMS-LD，用于薄膜厚度的檢測(cè)，點(diǎn)擊圖3查看詳情 ●
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| 真空系統(tǒng)（選配） |
● 設(shè)備上有一KF25接口用于連接真空泵 ● MAX真空度可達(dá)4.0E-6 Torr（采用渦旋分子泵） ● 雙極旋片真空泵或干泵，可使儀器真空腔體的真空度達(dá)到10-2Torr ● 真空度達(dá)到10-2torr時(shí)，可蒸發(fā)一些貴金屬，如金和鉑，也可蒸發(fā)一些有機(jī)材料，可選購(gòu)數(shù)顯 防腐真空計(jì)PCG-554(測(cè)量范圍3.8x10-5 to 1125 Torr.) ● 高真空度可達(dá)4.0E-6 Torr（采用渦旋分子泵），此時(shí)可蒸發(fā)對(duì)氧敏感的材料，如Al. Mg, Li， 分子泵上帶有復(fù)合真空計(jì)（MAX可測(cè)量真空度為1.0E-7Torr） ● 可在本公司選購(gòu)各種真空泵和真空計(jì)
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| 進(jìn)氣口 |
● 進(jìn)氣接口為1/4NPS，可向真空腔體中通入惰性氣體，對(duì)腔體進(jìn)行清洗，也可通入反應(yīng)氣體， 進(jìn)行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜 ● 進(jìn)氣口安裝有一針閥，用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量
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| 耗材 |
● 注：氧化鋁坩堝以及鎢絲藍(lán)為耗材，可與本公司銷售聯(lián)系購(gòu)買 ●
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| 產(chǎn)品尺寸 |
● 總體尺寸：550mm L×550mm W×750mm H ● 石英腔體尺寸：280mm OD×260mm ID×310mm H ●
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| 質(zhì)量認(rèn)證 |
CE認(rèn)證
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| 質(zhì)保期 |
一年保質(zhì)期，終生維護(hù)
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| 產(chǎn)品質(zhì)量 |
80kg
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| 應(yīng)用注意事項(xiàng) |
● 為了獲得高真空度，可采用以下做法 （1）使用前要檢查密封圈和法蘭上是否有異物或劃痕，并用酒精擦洗 （2）抽真空時(shí)，用外部加熱裝置將腔體烘烤到200℃，氧化鋁坩堝預(yù)加熱到500℃，保持2小時(shí) ● 使用溫度高于1300℃時(shí)，保溫時(shí)間不可大于1小時(shí)，否則會(huì)損壞密封圈 ● 當(dāng)腔體的各閥門關(guān)閉時(shí)，請(qǐng)勿開啟升溫程序或手動(dòng)調(diào)節(jié)電流進(jìn)行加熱 ● 當(dāng)儀器正在蒸發(fā)材料時(shí)，不可打開泄氣閥或關(guān)閉真空泵，只有當(dāng)加熱溫度降至100℃時(shí)，才可放氣 或關(guān)閉真空泵 |
