小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀
- 更新時(shí)間:2020-01-07
- 產(chǎn)品型號(hào):GSL-1700X-SPC-2
- 廠商性質(zhì):代理商
- 產(chǎn)品品牌:合肥科晶
- 產(chǎn)品廠地:國(guó)外
- 訪問次數(shù):221
GSL-1700X-SPC-2小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀可以設(shè)定程序,精確控制溫度200ºC~1500ºC(或1200ºC~1700ºC),樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。
GSL-1700X-SPC-2小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀
產(chǎn)品概述:
GSL-1700X-SPC-2是一款小型臺(tái)式程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀,可以設(shè)定程序,精確控制溫度200ºC~1500ºC(或者1200ºC~1700ºC),樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。
結(jié)構(gòu)&特點(diǎn):
- 真空腔體為直徑6英寸的石英腔體,便于清潔和放入樣品
- 安裝有一個(gè)2英寸的樣品臺(tái),并且樣品臺(tái)可以旋轉(zhuǎn),使所制薄膜更加均勻
- 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源,高溫度可達(dá)到1500℃,并且配用氧化鋁舟,可裝入樣品
- 精確控溫:可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/-1℃
- 氣體流量端口和閥門內(nèi)置用于腔室凈化和CVD可能性
基本參數(shù):
- 溫度:高1500℃(1200℃以上<1h)
- 建議升溫速率:≤20℃/ min(需根據(jù)工藝調(diào)整)
- 熱偶:B型或者S型熱偶
- 電源:AC220V,50Hz
- 大:6KW
溫控及加熱源:采用鎢絲籃作為發(fā)熱源,并且配有的氧化鋁坩堝,熱電偶安裝在坩堝底部,以便于溫度測(cè)量和控制
- 采用S型熱電偶(工作溫度為200℃-1500℃)
- 可選B型熱電偶(工作溫度為1200℃-1700℃)
- 安裝有一個(gè)數(shù)顯的溫度控制器:可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1ºC(如圖2)
- 溫度控制器的時(shí)間設(shè)置以秒為單位,建議將升溫/降溫速率限制在1200ºC以下0.3ºC/s(20ºC/ min),在1200 - 1500ºC限制到0.15ºC/s(10ºC/min)
儀器中配有鎢絲籃及氧化鋁坩堝
樣品臺(tái):
- 儀器頂部安裝有樣品臺(tái),直徑為Φ50mm,并設(shè)置有擋板,方便控制蒸發(fā)鍍膜時(shí)間
- 樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn),增加鍍膜均勻性
- 樣品臺(tái)和蒸發(fā)源之間的距離可以調(diào)節(jié)
進(jìn)氣口:
- 進(jìn)氣接口為1/4NPS,可向真空腔體中通入惰性氣體,對(duì)腔體進(jìn)行清洗,也可通入反應(yīng)氣體,進(jìn)行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜
- 進(jìn)氣口安裝有一針閥,用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量
- 程序控溫型四坩堝蒸發(fā)鍍膜儀-GSL-1700X-EV4
- 儀器中配有鎢絲籃及氧化鋁坩堝,并用戶可額外選購(gòu)鎢絲籃及氧化鋁坩堝
真空計(jì)(可選):可選購(gòu)一數(shù)顯防腐真空計(jì),測(cè)量范圍為:3.8x10-5-1125Torr
膜厚檢測(cè)儀(可選):
- 可在本公司選購(gòu)精密的石英振動(dòng)薄膜測(cè)厚儀安裝在濺射儀上,可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜的厚度,分辨率為0.10 Å
- LED顯示屏顯示,同時(shí)也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)
- 同時(shí)可選購(gòu)反射光譜薄膜測(cè)厚儀--TFMS-LD
真空系統(tǒng):
- 設(shè)備上有一KF25接口用于連接真空泵
- 采用渦旋分子泵真空可達(dá)1.0E-5Torr,極限真空度可達(dá)4.0E-6Torr
- 雙極旋片真空泵或干泵,可使儀器真空腔體的真空度達(dá)到10-2Torr
- 真空度達(dá)到10-2torr時(shí),可蒸發(fā)一些貴金屬,參考材料金和鉑,也可蒸發(fā)一些有機(jī)材料,可選購(gòu)數(shù)顯防腐真空計(jì)PCG-554(測(cè)量范圍3.8x10-5 to 1125 Torr.)
- 高真空度可達(dá)1.0E-5Torr(采用渦旋分子泵),此時(shí)可蒸發(fā)對(duì)氧敏感的材料,參考材料Al. Mg, Li,分子泵上帶有復(fù)合真空計(jì)
- (高可測(cè)量真空度為1.0E-7Torr)
- 可在本公司選購(gòu)各種真空泵和真空計(jì)
- 可選購(gòu)一個(gè)冷真空阱,以避免真空泵造成污染
外形尺寸:490mm*330mm*560mm
質(zhì)量認(rèn)證:所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證,若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。
使用提示:
- 為了獲得高真空度,可采用以下做法
- 此款蒸鍍儀可以放入到手套箱里操作,用于蒸鍍一些在常溫下對(duì)氧氣敏感的材料,比如金屬Li等,可在本公司選購(gòu)開啟式手套箱VGB-6
使用注意事項(xiàng):
- 使用溫度高于1300℃時(shí),保溫時(shí)間不可大于1小時(shí),否則會(huì)損壞密封圈
- 當(dāng)腔體的各閥門關(guān)閉時(shí),請(qǐng)勿開啟升溫程序或手動(dòng)調(diào)節(jié)電流進(jìn)行加熱
- 當(dāng)儀器正在蒸發(fā)材料時(shí),不可打開泄氣閥或關(guān)閉真空泵,只有當(dāng)加熱溫度降至100℃時(shí),才可放氣或關(guān)閉真空泵
- 蒸鍍電流不宜大于40A
- 如誤將控溫儀表設(shè)為手動(dòng)狀態(tài),程序?qū)⒉荒苷_\(yùn)行
- 此設(shè)備儀表程序?yàn)槊耄?00℃之前升溫速度不宜大于0.5℃/S
- 如果用戶選購(gòu)了STC-2型薄膜測(cè)厚儀,在選用取樣片時(shí)請(qǐng)按:鍍純金屬時(shí)用金取樣片,鍍合金時(shí)用銀取樣片
- 鎢絲籃必須在真空狀態(tài)下(<5Pa才能通電加熱,否則會(huì)被氧化)
GSL-1700X-SPC-2小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀
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