采用CVD制成石墨烯辦法，需要在高真空的環(huán)境下，這就需要用到機(jī)械泵和分子泵。業(yè)界常使用的前級(jí)泵和分子泵主要是德國(guó)Pfeiffer公司的DUO和Hipace系列，如江南石墨烯有從伯東公司采購(gòu)Hipace 300*2, DUO 20*3, HLT 560*1。其中Hipace 300是德國(guó)Pfeiffer Hipace系列300L/s抽速的渦輪分子泵，DUO 20是雙級(jí)旋片泵20m3/h抽速，HLT
石墨烯及其制成設(shè)備
1. 石墨烯簡(jiǎn)介
1.1 什么是石墨烯（Graphene）
石墨烯（Graphene）是一種由碳原子構(gòu)成的單層片狀結(jié)構(gòu)的新材料，石墨烯不僅是已知材料中zui薄的一種，還非常牢固堅(jiān)硬；作為單質(zhì)，它在室溫下傳遞電子的速度比已知導(dǎo)體都快。
1.2 石墨烯（Graphene）用途
- 石墨烯有抗菌物質(zhì)
- 石墨烯能夠淡化海水
- 石墨烯能夠作為太陽(yáng)能電池
- 石墨烯具備作為優(yōu)秀的集成電路電子器件的理想性質(zhì)
- 石墨烯可以用于超級(jí)電容器的導(dǎo)電電極，因石墨烯具有特高的表面面積對(duì)質(zhì)量比例
- 石墨烯生物器件
- 作為導(dǎo)熱材料或者熱界面材料
- 單分子氣體偵測(cè)等等
2. 石墨烯制備方法
2.1 化學(xué)氣相沉積法(CVD)
碳?xì)浠衔镌诟邷叵路纸獬商荚映练e在鎳的表面，形成石墨烯，通過輕微的化學(xué)刻蝕，使石墨烯薄膜和鎳片分離得到石墨烯薄膜。
2.2 外延晶體生長(zhǎng)法
通過加熱單晶碳化硅脫除硅，在單晶(0001) 面上分解出石墨烯片層。具體過程是：將經(jīng)氧氣或氫氣刻蝕處理得到的樣品在高真空下通過電子轟擊加熱，除去氧化物。用俄歇電子能譜確定表面的氧化物*被移除后，將樣品加熱使之溫度升高至1250~1450℃后恒溫1~20min，從而形成極薄的石墨層。
2.3 微機(jī)械剝離法
2.4 氧化-還原法
2.5 溶劑剝離法
2.6 溶劑熱法
2.7 其它方法，石墨烯的制備方法還有高溫還原、光照還原、外延晶體生長(zhǎng)法、微波法、電弧法、電化學(xué)法等。
總結(jié)：成本低，質(zhì)量好的石墨烯制備還在研發(fā)當(dāng)中，更多的研究單位加入到石墨烯行業(yè)當(dāng)中，直接或間接會(huì)使用真空獲得設(shè)備。
2.3 采用CVD制成石墨烯辦法，需要在高真空的環(huán)境下，這就需要用到機(jī)械泵和分子泵。業(yè)界常使用的前級(jí)泵和分子泵主要是德國(guó)Pfeiffer公司的DUO和Hipace系列，如江南石墨烯有從伯東公司采購(gòu)Hipace 300*2, DUO 20*3, HLT 560*1。其中Hipace 300是德國(guó)Pfeiffer Hipace系列300L/s抽速的渦輪分子泵，DUO 20是雙級(jí)旋片泵20m3/h抽速，HLT 560是伯東公司代理的德國(guó)氦質(zhì)譜檢漏儀，現(xiàn)已升級(jí)為ASM 340.
伯東企業(yè)（上海）有限公司是德國(guó)普發(fā)*代理商。伯東真空 主營(yíng)產(chǎn)品 德國(guó) Pfeiffer 渦輪分子泵, 干式真空泵, 羅茨真空泵, 旋片真空泵; 應(yīng)用于各種條件下的 真空測(cè)量(真空計(jì), 真空規(guī)管); 氦質(zhì)譜檢漏儀；質(zhì)譜分析儀；真空系統(tǒng)以及 Cryo pump 冷凝泵/低溫泵, HVA 真空閥門, Polycold 冷凍機(jī)和美國(guó)KRI 離子源.Gamma離子泵。
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