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產(chǎn)品介紹:KJ-T1200-S6012LK1-4Z5S型石墨烯生長(zhǎng)爐由KJ-1200T管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成,溫度可以達(dá)到1200度,可以是單...
產(chǎn)品介紹:KJ-T1050-CVD-LZ型石墨稀、碳納米管材料CVD設(shè)備由管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成,溫度可以達(dá)到1050度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)...
產(chǎn)品特點(diǎn):1、可滿足多晶硅、氮化硅、擴(kuò)散、氧化、退火等工藝2、采用高可靠性工控機(jī)+PLC模式,對(duì)爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閥門進(jìn)行全自動(dòng)控制,實(shí)現(xiàn)全部工藝過程自動(dòng)...
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